Name: 芯片光刻用超高精温度洁净室
Brand: 中科华恒制冷技术(惠州)有限公司
SKU: 47647
Availability: InStock

设计特点		采用神经网络控制、专家PID控制、人工智能PID控制、自动寻优PID控制”等国际上先进尖端的控制技术。其中的“神经网络控制”，不再像PID控制算法，不需自整定，用户也不需设置那些复杂的PID参数，直接将控制器接入控制系统，就能使控制达到理想效果 “外环境保证相对湿度、大环境稳定绝对含湿量” 的方式。为满足温湿度及洁净度要求，采用大风量小温差设计，通过空气快速循环过滤带走余热，并通过多级控温（先经表冷盘降温，再由多级电加热逐步升温），将温度精度从 ±0.1℃升级至 ±0.001℃。
外型尺寸		1000mmX1200mmX1800mm以实际为准
技术指标	温度范围	-150℃~150℃ （以客户要求而定）
	相对湿度范围	1%Rh~98%Rh （以客户要求而定）
	温度精度	士0.1℃~士0.001℃ （以客户要求而定）
	湿度精度	士1~5 %RH（以客户要求而定）
	洁净度	ISO Class1~5（以客户要求而定）
	风速	0.1~200m/s（以客户要求而定）
	有害气体浓度	1~20000PPM（以客户要求而定）
	升降温速率	升降温：1~20℃/min可调(非)线性; （以客户要求而定）
结构与配置	箱体材料	冷轧板喷塑/不锈钢（以客户要求而定）
	保温材料	气凝胶、玻璃纤维棉、聚氨酯（以客户要求而定）
	制冷方式	压缩制冷（-30以下用复叠制冷以客户要求而定）
	换热器	套/壳管/翅片式换热器（以客户要求而定）
	压缩机	品牌压缩机（以客户要求而定）
	制冷剂	R410a/R404A/R23/R14/R50（以客户要求而定）
	操作面板	7寸彩色触摸屏,温度曲线显示\EXCEL 数据导出
	通讯方式	RTU/TCP/CAN（以客户要求而定）
保护装置		加热双温保护，制冷系统统保护及电器过流过载保护等
电源制式		AC220V/380V 50HZ
执行满足标准		GB/T 2423.1、GB/T 2423.2、GJB 150.3A、GJB 150.4A、GB/T 5170
可替代国外品牌		Canon/Nikon/ZEISS/Weiss/Thermotron/ADVANTEST等

中科华恒制冷技术（惠州）有限公司是一家集研发和销售为一体的超临界冷热精控洁净高端设备设计企业，专做冷热环境洁净控制行业国产替代进口产品，研发半导体开发及封测控温Chiller、超低温冷冻机、新能源用控温控流量系统等专用设备，广泛应用于半导体、生物医疗、新能源及大功率激光等冷却领域，特种车辆、各类风洞、卫星测试等领域，处于国际领先水平。

拥有数位在超临界冷热精控洁净系统开发方面具有丰富经验的高素质专业设计人员的研发队伍；公司目前在冷热精控洁净系统技术方面处于同行业领先水平；

我们的使命：提供领先世界行业水平的超临界冷热精控洁净系统解决方案和服务，持续为客户创造更大的价值；

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